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        浙江晶泰半導體有限公司 致力于半導體設備領域里開創新局面!

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        服務熱線:0577-62723111

        產品詳情 / Product Details位置: 首頁 > 晶泰產品 > YTC100B-MCZ電子級單晶爐

        主要性能指標


        爐室資料Puller Data
        坩堝直徑 Crucible  diameter:18〞- 22〞
        單晶直徑 Crystal diameter:6〞- 8〞(150-200mm)
        裝料量 Charge size:60-90kg
        喉管直徑 Throat Diameter:14 ”(356mm)
        主爐膛內徑 Main furnace Diameter:¢1000mm
        主爐膛高度 Main furnace Height:1250mm
        爐門開口尺寸 Pull Chamber Door Opening:15”×82”(380mm×2082mm)
        主真空泵抽速 Vacuum Pumps-Main:221 cfm (6,260 l/min)
        輔助真空泵抽速 (Recommended) Aux:60 cfm (1700 l/min)
        排氣方式 Exhaust:底排氣 Exhaust end
        副室類型 Deputy room type:全開門 Full-door
        爐蓋類型 Lid Type:穹頂 Dome
        磁場類型 Field type:勾型、水平型(可選) hook type, horizontal type (optional)
        有導流筒提升、激光測距、CCD控徑
        There draft tube upgrade, laser ranging, CCD control path
        可提供二次加料 providing secondary feed

        坩堝驅動單位 Crucible drive unit
        提升速度 Lifting speed:  0-10 in/hr (0-254mm/hr)
        最快提升速度 Crucible Jog Speed: (>250mm/min)
        行程 Stroke:  18〞(457mm)
        轉速 Rotation speed: 0-20 rpm(可逆)

        晶驅動單位 Crystal drive unit
        提升速度 Lifting speed: 0-20 in/hr (0-508mm/hr)
        快速提升速度 Seed Jod Speed: 20 in/min (508mm/min)
        轉速 Rotation speed: 0-50 rpm(可逆)

        廠務要求Utilities
        電源電壓(Source Voltage) :380V±10%
        頻率 (Frequency):50/60 Hz
        加熱功率 (Heating Power):IGBT 165KW底部加熱50KW
        環境溫度(Ambient Temperature):5~40
        相對濕度(Relative Humidity):<70%
        入口端最高水溫 (Maximum Inlet Temperature):77°F (25℃)      
        最小流量(Minimum Flow Rate):78 gpm (295 l/min) total
        入口出口壓力差(Diff. Supply Pressure):30 psi (2.1kg/cm2)  
        主氬氣流量(Mass Flow Control(Max.)):200 slpm
        吹掃流量 (Purge Flow):100 slpm
        合計(Facility Total):300 slpm
        推薦壓力 Recommended Supply Pressure:75 psi (5.3kg/cm2)
        壓縮空氣(Air)
        推薦壓力 Recommended Supply Pressure:90psi (6.3kg/cm2)

        控制系統System Control
        自動過程 Automatic process
        標準PLC/PC控制 control by PLC/PC. Equipped as standard

        外形尺寸Dimensions(approx.)
        總高度 (closed):6433mm
        寬 Width (W):2200mm
        深 Depth (D):2368mm

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