<option id="z3dsg"></option>
      1. <progress id="z3dsg"></progress>

        浙江晶泰半導體有限公司 致力于半導體設備領域里開創新局面!

        加入收藏 | 設為首頁 | 站點地圖

        服務熱線:0577-62723111

        產品詳情 / Product Details位置: 首頁 > 晶泰產品 > YTC300-MCZ電子級單晶爐

        主要性能指標


        爐室資料Puller Data
        單晶直徑Crystal diameter:12〞- 18〞
        裝料量Charge size:450kg
        喉管直徑Throat Diameter:28”~36”
        主爐膛內徑Main furnace Diameter:Φ1300mm
        主爐膛高度Main furnace Height:1938mm

        爐門開口尺寸 Pull Chamber Door Opening: 520mm×2800mm

        喉管直徑(Throat Diameter):Φ500 mm

        主真空泵抽速Vacuum Pumps-Main: 221 cfm (6,260 l/min)

        輔助真空泵抽速(Recommended) Aux: 60 cfm (1,700 l/min)

        副室類型Deputy room type:全開門Full-door 

        爐蓋類型Lid Type:穹頂 Dome或扁平 Flat
        磁場類型Field type:勾型、水平型(可選)hook type, horizontal type (optional)
        有導流筒提升、激光測距、CCD控徑
        There draft tube upgrade, laser ranging, CCD control path
        可提供二次加料providing secondary feed


        坩堝驅動單位Crucible drive unit
        提升速度( Lifting speed):0-4mm/min
        最快提升速度(Fast Seed Lift Rate):(≥150mm/min) 

        行程 Stroke:800mm
        轉速 Rotation speed:0-20 rpm


        晶驅動單位 Crystal drive unit

        籽晶提升慢速(Seed Lift Rate):0-8 mm/mim

        籽晶提升快速(Fast Seed Lift Rate):620 mm/min

        籽晶行程(Seed Travel):4000 mm

        籽晶旋轉(Seed Rotation):0-30 rpm


        廠務要求Utilities
        電源電壓(Source Voltage):380V±10%
        頻率(Frequency):50/60 Hz
        主變壓器(Main Transformer):320 KVA
        副變壓器(Subsidiary Transformer):67 KVA
        環境溫度(Ambient Temperature):5~40
        相對濕度(Relative Humidity):<70%
        入口端最高水溫(Maximum Inlet Temperature) 77°F (25℃)
        最小流量(Minimum Flow Rate):≥400 L/min
        入口出口壓力差(Diff. Supply Pressure):2.0-3.0 bar
        主氬氣流量(Mass Flow Control Max.):100-200 L/min
        壓力(Pressure):3.5-5 bar
        壓縮空氣(Air)
        極限真空(Ultimate Vacuum):≤30m Torr
        泄漏率(Leakage Rate):≤40m Torr/h
        可控壓力范圍(Controllable Pressure Scope):10-50 Torr
        推薦壓力(Recommended Supply Pressure):4-7 bar
        消耗量(Consumption):100 L/爐次


        控制系統System Control
        自動過程Automatic process
        標準PLC/PC控制control by PLC/PC. Equipped as standard


        外形尺寸Dimensions(approx.)
        總高度 (closed):8,311mm
        寬 Width (W):2,500mm
        深 Depth (D):3,424mm


        久久一日本综合色鬼综合色☆国产欧美一区二区三区☆AV老司机AV天堂☆天堂种子在线WWW网