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        產品詳情 / Product Details位置: 首頁 > 晶泰產品 > YTC1100光伏級單晶爐

        YTC1100光伏級單晶爐

        主要性能指標


        爐室資料Puller Data
        坩堝直徑Crucible diameter:22"- 28"
        單晶直徑Crystal diameter:8"- 12"
        裝料量Charge size:350 kg
        喉管直徑Throat Diameter:14 "(356mm)
        直徑偏差率:Diameter deviation rate:1.5 mm
        主爐膛內徑Main furnace Diameter:Φ1100 mm
        主爐膛高度Main furnace Height:1450 mm(上1050 mm,下400 mm)
        漏率:≤10 mtorr/hour
        冷爐極限真空度:≤23 mtorr
        全自動長晶過程:
        最大拉晶長度:≤3600 mm
        排氣方式Exhaust:底排氣Exhaust end
        AR進氣介面:1.喉部兩側  2.副爐室上方
        Ar流量控制:MFC 4-200 slpm


        坩堝驅動單位Crucible drive unit
        提升速度Lifting speed:0-10 in/hr (0-254 mm/hr)
        最快提升速度Crucible Jog Speed:2.0 in/min (50.8 mm/min)
        行程Stroke:19"(480 mm)
        轉速Rotation speed:0-20 rpm


        晶驅動單位 Crystal drive unit
        提升速度Lifting speed:0-20 in/hr (0-508 mm/hr)
        快速提升速度Seed Jod Speed:20 in/min (508 mm/min)
        轉速Rotation speed:0-50 rpm


        廠務要求Utilities
        電源電壓(Source Voltage):380 V±10%
        頻率(Frequency):50/60 Hz
        加熱功率(Heating Power):160 KW底部加熱50 KW
        環境溫度(Ambient Temperature):5~40
        相對濕度(Relative Humidity):<70%
        入口端最高水溫(Maximum Inlet Temperature):77°F (25℃)      
        最小流量(Minimum Flow Rate):78 gpm (295 l/min) total
        入口出口壓力差(Diff. Supply Pressure):30 psi (2.1 kg/cm2)  
        主氬氣流量(Mass Flow Control(Max.):200 slpm
        吹掃流量(Purge Flow):100 slpm
        合計(Facility Total):300 slpm
        推薦壓力Recommended Supply Pressure:75 psi (5.3 kg/ cm2)
        壓縮空氣(Air)
        推薦壓力Recommended Supply Pressure:90psi (6.3 kg/ cm2)


        控制系統System Control
        自動過程Automatic process
        標準PLC/PC控制control by PLC/PC. Equipped as standard


        外形尺寸Dimensions(approx.)
        總高度 (closed):8632mm
        寬 Width (W):1580mm
        深 Depth (D):2060mm


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